超精密加工技術是20世紀60年代提出的，它是提高機電產品性能、質量、工作壽命和可靠性，以及節術櫛能的重要途徑，超精密加工是指加工誤差小于0.1m ，表面粗糙度小于Ra0.025Ixm的加工技術，也稱為亞微米級加工，超精密加工技術水平是一個國家制造工業水平的重要標志之一。

超精密加工中除了液壓、氣壓源的波動外，工作環境對加工質量的影響很大，因此，工作環境是保證加工質量的必要條件，工作環境主要有溫度、凈化和防振等方面的要求。環境溫度變化對機床精度的影響尤為顯著，包括環境溫度變化在內的熱因素引起的加工誤差占總加工誤差的(40 70)％灰塵的混入會使工件表面劃傷，而影響其表面質量；加工過程中如發生振動，會使工件已加工表面上出現條痕或布紋狀痕跡，使表面光潔度顯著下降。

隨著超精密加工精度要求越來越高，對加工環境的要求越來越嚴格，僅從影響超精密加工精度的供氣壓力波動，環境溫度變化，外界和自身振動三方面進行了分析，影響超精密加工精度的因素是多方面的，要提高超精密加工精度，不但要了解其影響的因素，還必須掌握解決途徑